Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
中野 信夫,半導体製造用ガスのセンシングの現状と課題,マテリアルインテグレーション = Materials integration,13447858,京都 : ティー・アイ・シィー,1999-04,12,4,13-19,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520291855863101440,