著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
上岡 義弘,高純度窒化ガリウムスパッタリングターゲットを用いたエピタキシャル成長と評価,電気学会研究会資料. EFM,,東京 : 電気学会,2023-11,2023,1-13・15・17-31,3-6,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520298466301706624,