著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
小田 優太朗 and 浅利 友隆 and 谷 雅直 and 年吉 洋,圧電MEMS光スキャナのフィードバック制御に向けた静電振角センサの検討,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2023-11,40,,4p,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520299061016281472,