著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
堀内 敏行 and 大塚 直幸 and 福原 豪晴 and 小林 宏史,屈折率分布型レンズアレイ投影露光リソグラフィによる厚膜レジストパターン形成,電気学会研究会資料. LAV,,東京 : 電気学会,2023-12-22,2023,10・12-18,1-6,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520299086514279808,