著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
川口 夏樹 and 中田 和磨 and 大西 亮多 and 田中 一平,マイクロ波プラズマCVD装置におけるFRITを用いたプラズマ発光強度比制御系の一設計,"電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = IEEJ transactions on electronics, information and systems",03854221,東京 : 電気学会,2024-03,144,3,127-132,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520299539223809920,