著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
西田 和生 and 中野 貴之 and 井上 翼,mist-CVD法によるカーボンナノチューブフォレストへの均質シリカ誘電膜形成,電気学会研究会資料. DEI,,東京 : 電気学会,2024-01-19,2024,1-12,19-21,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520300148966101376,