著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
佐藤 直幸 and キュゾビック ティホミール and 石田 大輝 and 保坂 恭平,低気圧誘導結合放電によるMg-不活性ガス混合プラズマの生成とMg薄膜の合成,"電気学会研究会資料. SP = The papers of technical meeting on switching and protecting engineering, IEE Japan",,東京 : 電気学会,2024-08-05,2024,1-7,5-9,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520301607092293120,