著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,ニコンが先端パッケージ向け露光装置 マスクレスで大型パネルに対応 : FPD露光装置のノウハウを半導体に生かす,日経エレクトロニクス = Nikkei electronics : sources of innovation,03851680,東京 : 日経BP,2024-11,,1269,14-16,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520302248603779840,