著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
内田 成明 and 山浦 道照 and 井澤 靖和,レーザープラズマを利用したEUVリソグラフィー用ターゲット供給技術に関する研究,レーザーエネルギー学研究センター共同研究成果報告書 = ILE annual report of collaboration research,,吹田 : 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター,2005,2005年度,,105-110,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572357007357696,