著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) マーティン ヘルマシュヴァイラー and 内田 和貴,ナノスクライブの3次元レーザ・リソグラフィ装置,レーザ加工学会誌 = Journal of Japan Laser Processing Society,18816797,吹田 : レーザ加工学会,2013-07,20,2,90-96,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572357062346112,