著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
池田 圭司 and 入沢 寿史 and 手塚 勉,先端CMOSデバイス・プロセス技術の現状と展望,"電子情報通信学会誌 = The journal of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers",09135693,東京 : 電子情報通信学会,2015-04,98,4,300-306,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572357149067648,