超音波ねじり振動を利用した単結晶シリコンの延性モード切削
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- Other Title
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- チョウオンパネジリ シンドウ オ リヨウ シタ タンケッショウ シリコン ノ エンセイ モード セッサク
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- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
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Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 44 (9), 414-419, 2000-09
東京 : 砥粒加工学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572357209668224
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- NII Article ID
- 10010080633
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- NII Book ID
- AN10192823
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- ISSN
- 09142703
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- NDL BIB ID
- 5463097
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles