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4.2 Plasma Light Sources with Highly Charged Ions(4. Applicaiton of Highly Charge Ions,<Special Topic Article>Fundamental Atomic Processes and Increasing Applications of Highly Charged Ions)

Bibliographic Information

Other Title
  • 多価イオンを用いたプラズマ光源
  • タカ イオン オ モチイタ プラズマ コウゲン
  • 4.2 多価イオンを用いたプラズマ光源(4. 多価イオンの応用,<小特集>多価イオン原子過程の基礎と拡がる応用研究)
  • 多価イオンの応用 : 4. 2 多価イオンを用いたプラズマ光源
  • Application of Highly Charged Ions : 4. 2 Plasma Light Sources with Highly Charged Ions
  • 多価イオンを用いたプラズマ光源
  • Plasma light sources with highly charged ions
  • 小特集 多価イオン原子過程の基礎と拡がる応用研究 ; 多価イオンの応用
  • ショウトクシュウ タカ イオン ゲンシ カテイ ノ キソ ト ヒロガル オウヨウ ケンキュウ ; タカ イオン ノ オウヨウ

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Abstract

多価イオンのEUV(極端紫外)光源への応用について述べる.XeやSnの10価前後のイオンの4-4遷移から放出される光を,高出力,高効率なEUV光源に応用する可能性が,詳細な理論的および実験的研究により明らかにされた.電荷交換分光法によるXe,Sn多価イオンの共鳴線の波長の測定をはじめ,原子データ,原子モデルの精度を高めることにより,実験的なレーザープラズマ光源の輻射変換効率やスペクトルを輻射流体シミュレーションで再現し,光源の特性の評価が行えるようになった.

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