著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 北井 聡 and 寒川 雅之 and 神田 浩文,PrOxゲート絶縁膜のPLD法による作製,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2001-12-20,101,515,11-16,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572357416112384,