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龍頭 啓充 and 尾崎 良介 and 高岡 義寛,エタノールクラスターイオンビームによるシリコン表面の低損傷・高効率スパッタリング,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2008-12-05,108,335,11-15,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572357595511424,