著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
松井 真二 and 落合 幸徳 and 山下 浩,解説 電子ビーム露光技術の現状と展望,応用物理,03698009,東京 : 応用物理学会,2001-04,70,4,411-417,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572357657667840,