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星 陽一 and 濱口 大地 and 小林 信一,低ダメージスパッタ堆積プロセスを利用した有機EL素子用電極膜の作製,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2015-11,115,297,19-22,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572357770246528,