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野路 郁太郎 and 小畠 厳貴 and 安田 穂積,超純水電解加工(超純水のみによる電気化学的加工方法)のCuダマシン平坦化プロセスへの適用開発,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2005-01-31,104,645,13-16,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572357780736896,