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笠井 隆 and 小俣 輝明 and 中島 康晴 and 太田 貴文 and 梶川 健太 and 深尾 聡 and 北野 茜 and 若尾 和年 and 石本 浩一,MEMSマイクロホンの犠牲層エッチング後に発生する柱状異物の発生メカニズムと抑制手法の検証,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2018,35,,4p,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572357841451392,