著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,MEMSをLSIに融合 Si貫通配線による3次元化で開始,Nikkei microdevices : デバイス・イノベーションをリードする,13494619,東京 : 日経BP社,2007-08,,266,34-43,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358006909952,