著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 先端物理学研究における精密工学,精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering,09120289,東京 : 精密工学会,2010-11,76,11,1217-1243,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358015539072,