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石井 清 and 渡辺 康治 and 齋藤 和史,ガスフロースパッタ法における低エネルギーイオンアシストによるITO薄膜の低温結晶化,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2005-08-01,105,223,5-10,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358091972096,