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工藤 昌宏 and Hong-An Shih and 赤堀 誠志,GaAs(001)上のAlNスパッタ堆積およびAl2O3原子層堆積における表面前処理の効果,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2011-07,111,167,25-30,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358380548096,