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権 賢圭 and 高 偉 and 厨川 常元,インプロセス形状測定機能を有するマイクロ加工プローブの設計,設計工学 = Journal of Japan Society for Design Engineering : 日本設計工学会誌,09192948,東京 : 日本設計工学会,1998-01,33,1,29-34,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358383236608,