著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
大野 隆 and 鈴木 敏之,プラズマCVD法によるTiN皮膜の合成および皮膜の特性,材料試験技術 = Journal of Material Testing Research Association of Japan,02852470,東京 : 日本材料試験技術協会,2005-10,50,4,191-197,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358404819200,