著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 超精密加工・計測を支える環境制御技術,精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering,09120289,東京 : 精密工学会,2002-09,68,9,1137-1183,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358540642048,