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新垣 隆生 and 植野 研 and 榊原 静,半導体製造データ分析への無限隠れMarkov確率場モデルの応用,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2011-03,110,476,1-7,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358605018368,