著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,STM開発の現状と展望<特集>,精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering,09120289,東京 : 精密工学会,1987-12,53,12,p1811-1844,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358607050624,