著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,半導体の最新動向と真空装置,表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan,09151869,東京 : 表面技術協会,1997-11,48,11,1043-1058,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358746299648,