著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
渡邊 克己 and 福地 昭 and 大内 昌雄,小山田記念賞 半導体製造装置・薄型ディスプレイ製造装置用基板ホルダーの製造方法開発,軽金属,04515994,東京 : 軽金属学会,2008-03,58,3,117-122,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358752603520,