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西川 誠二 and 岡田 亮太 and 松浦 秀治,放電電流過渡分光法を用いた犠牲酸化処理された高純度半絶縁性4H-SiCの欠陥評価,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2011-12-16,111,357,23-28,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358893567232,