著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
古澤 孝弘,極端紫外光リソグラフィー用レジスト開発 : レジスト内での像形成という視点から,光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan,03896625,東京 : 日本光学会,2012-03,41,3,144-148,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358911462656,