著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
徳永 裕樹 and 生方 映徳 and 矢野 良樹,大口径Si基板(8インチ&6インチ)上のAlN、AlGaNの高速成長,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2012-11,112,327,17-20,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572358929247104,