著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
清家 善之 and 李 考相 and 宮地 計二,高圧マイクロジェット(HPMJ)を用いたCMPパッドコンディショニングに関する研究--蛍光スラリーを利用したパッド構内のスラリー残渣の洗浄性確認,Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology,09142703,東京 : 砥粒加工学会,2006-08,50,8,465-470,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359029957504,