著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) M. Fujita and J. Tajima and T. Nakagawa,Development of Enhanced Depth-Resolution Technique for Shallow Dopant Profile,大阪大学極限科学研究センター報告書 = Report Kyokugen,13442546,豊中 : 大阪大学極限科学研究センター,2002,,7,57-64,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359062579072,