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川村 義晃 and 大河 正志 and 佐藤 孝,小孔付き半密閉空間を有する光導波型微小圧力センサにおける応答特性の基礎的検討,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2015-10,32,,1-4,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359087487360,