Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
菅野 卓雄 and 岡部 洋一 and 河合 直行,電子ビーム露光の基礎実験,東京大学工学部総合試験所年報,03713067,東京 : 東京大学工学部総合試験所,1976-09,,35,p163-167,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359368737536,