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竹井 裕介 and 後藤 慎太郎 and 高松 誠一 and 伊藤 寿浩 and 小林 健,極薄シリコンピエゾ抵抗素子を用いたフレキシブルな圧力センサ,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2017,34,,3p,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359416372480,