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李 昇穆 and 車 溥相 and 奥山 雅則,Acoustic damping effect on capacitive micromachined ultrasonic transducer,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2010-05,110,55,85-89,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359419000704,