著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
矢島 丈夫,半導体デバイス・液晶パネル製造用レジストポンプ,フルードパワーシステム = Journal of the Japan Fluid Power System Society : 日本フルードパワーシステム学会誌,13467719,東京 : 日本フルードパワーシステム学会,2020-07,51,4,162-164,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359685152128,