著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 岩田 博之 and 河口 大祐 and 坂 公恭,パルスレーザ照射により生ずるSi中ボイド近傍の性状,愛知工業大学総合技術研究所研究報告,13449672,豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所,2019-12,,21,92-94,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359707993344,