著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
中原 良彦 and 土肥 俊郎,SiC単結晶のCMPプロセス改善に関する一検討,"埼玉大学地域共同研究センター紀要 = Report of Cooperative Research Center, Saitama University",13474758,浦和 : 埼玉大学地域共同研究センター,2006,,7,11-13,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359753058432,