著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
間下 喬史 and 豊田 紀章 and 山田 公,Cluster size dependence of SiO2 thin film formation by O2 gas cluster ion beams,"兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo",,姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室,2009,2009年度,,50-53,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359799386496,