著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 豊島 克久,新しい熱型マイクロ3軸加速度センサの提案,研究報告 = Bulletin of Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute,18818676,東京 : 東京都立産業技術研究センター,2012,,7,14-17,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359815319296,