著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 千葉 広文 and 鈴木 裕輝夫 and 安田 喜昭 and 熊谷 光恭 and 小山 孝明 and 田中 秀治,深紫外LED向けシリコンパッケージング技術の開発,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2019-11,36,,5p,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359882248192,