著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
泥谷 亮太 and 伊藤 隆太 and 山本 世翔 and 神村 勇馬 and 堤井 君元 and 松本 精一郎,表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と絶縁性評価,電気学会研究会資料. DEI,,東京 : 電気学会,2021-01-22,2021,1-18,89-92,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359939212288,