著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 竹内 雅耶 and 山口 明啓 and 内海 裕一,NewSUBARUにおける汎用X線微細加工ビームライン(BL11),"電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan",,東京 : 電気学会,2018-03-28,2018,22-30,13-15,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359944659968,