著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
久住 孝幸 and 中村 竜太 and 越後谷 正見,電界砥粒制御技術を用いた次世代半導体基板研磨システムの開発(第5報),業務年報 = Annual report of Akita Industrial Technology Center,21873380,秋田 : 秋田県産業技術センター,2017,,,98-101,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572359988544000,