Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
八重樫 英民 and 小山 賢一 and 山内 祥平 and 原 亜梨沙 and 名執 桜子 and 大和 雅俊 and 岡部 憲明 and 小池 恭平,マルチパターニングによる微細化の可能性,半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集 = Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology,,東京 : 電気化学会電子材料委員会,2015-07,79,,39-42,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360007975552,