著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
宮崎 順二 and Rudy Peeters,EUV Lithography Industrialization Progress,半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集 = Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology,,東京 : 電気化学会電子材料委員会,2014-07,78,,25-28,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572360009541760,